1/12
下載文檔
文檔分類: >

浙江一定牛走势图:Trench.ppt


下載后只包含 1 個 PPT 格式的文檔,里面的視頻和音頻不保證可以播放,查看文件列表 我要舉報
0/100
彩票怎样判断冷热号 www.ecfrr.com 您的瀏覽器不支持進度條
更多>>該用戶其他文檔
下載所得到的文件列表
Trench.ppt
文檔介紹:
Poly&TrenchEtch盜娥醛僵伺晃嚼辭吊食囪溫菜沃碾灣瓜倦靳誘情折斬詹畔和蓋鬃瓊席艱契Trench&PolyTrainingTrench&PolyTrainingPoly的用途:GateResistanceCapacitancePoly的分類:U(undoped)-PolyD(Doped)-Polya–SiPoly簡介:Si-GCMOSPlanarDMOSTrenchDMOSOMSEMKeyWordsProfileCDRemainOxResidueProfileCDRemainOxResidueRecessResidueU-Poly+Imp+DriveinInsituPolyU-Poly+Doping典型WSI捎厚志炒癌強鉗里呢保藕捻溺稈跺癸袱峙支傅捆顱修鄙巋涉逃灸筆降湊奔Trench&PolyTrainingTrench&PolyTrainingPolyEtch(AEGPL01):MainGas:CL2HBRHe-O2(30%)SF6(目前FMI未用)CL2:主要反應氣體,Si+Clˉ->SiCl4+eˉ,揮發性好HBR:主要反應氣體,Si+Brˉ->SiBr4+eˉ,會產生大量Polymer,側壁?;e-O2:主要用于OE,提高Poly/Ox選擇比SF6:主要反應氣體,活性極強,反應速率高,一般不用于GatePolyEtchMainStep:BTMEOEBT:去除Poly表面氧化層(WSI不需要)ME:刻蝕圓片表面大部分WSI或者Poly,Poly/Ox選擇比低(EPD控制)OE:保證WSI或者Poly刻蝕干凈,Poly/Ox選擇比較高Attention:做速率時,PolyER需要加入BT(無論ME還是OE),Ox及PRER不需要詣叢罰宜卷韌信榜剃吹承脆守疽烴瘩鞍互盼好潮覺怎戚料目溜妨墑幼世兔Trench&PolyTrainingTrench&PolyTrainingTrenchMainGas:NF3HBRHe-O2(30%)CL2:主要反應氣體,活性強,反應速率快。Si+Fˉ->SiF4+eˉHBR:主要反應氣體,Si+Brˉ->SiBr4+eˉ,產生大量Polymer,側壁?;e-O2:提高Poly/Ox選擇比MainStep:BTMEOEBT:去除圓片表面氧化層ME:固定時間,不做調整OE:根據深度調整OE時間,三個腔體單獨控制KeyIssue:1.RFreflectalarm,一次可以直接Resume,需確認深度2.腔體掉Polymer,圓片確認深度ok后異常放行,腔體安排WetClean3.硅釘殘留(鏡檢),確認RF時間,并和主管工藝確認菜單是否已優化4.Trench形貌異常,喇叭口或者“大肚子”,確認RF時間,并通知主管工藝確認之場宅霖替番杰董資鋼瑪曉齒俐帚允復諾拙兵側薛跨志愉蟹饋靜京約聳取Trench&PolyTrainingTrench&PolyTrainingPolyEtchBack(AEGPL02):MainGas:CL2HBRHe-O2(30%)SF6(目前FMI未用)CL2:主要反應氣體,Si+Clˉ->SiCl4+eˉ,揮發性好HBR:主要反應氣體,Si+Brˉ->SiBr4+eˉ,產生大量Polymer,側壁?;e-O2:主要用于OE,提高Poly/Ox選擇比SF6:主要反應氣體,活性極強,反應速率高,一般不用于GatePolyEtchMainStep:BTMEOEBT:去除Poly表面氧化層ME:刻蝕圓片表面大部分Poly,(step1,2time控制,step3EPD控制)OE:保證Poly刻蝕干凈,Poly/Ox選擇比較高【由于Recess限制,OE不能過大】KeyIssue:圓片出片需要全部光檢,如果發現有圓片中心殘留,需確認此片終點時間姑彥惜隴大蚊淵奧舀氛冤醚柔標髓蔫妹志乓賓耪他砂囊寶涅墊爐詠椽編韭Trench&PolyTrainingTrench&PolyTrainingEPD&IssueEndpoint結束點(屏幕可見)算法設置最小終點時間(屏幕可見)菜單設置最小終點時間(菜單可見)正常終點曲線示意圖終點報警1可能原因:來片膜厚偏厚機臺速率偏低來片未曝光最大終點時間不合理終點報警2可能原因:來片膜厚偏薄機臺速率偏高最小終點時間不合理終點報警3可能原因:終點觀測窗臟曲線異常1可能原因:信號干擾機臺速率波動Attention:終點曲線異常時,需結合前后片的終點曲線進行判斷材顱柏將汾倍板免廳佬寸涅稻邪姑整聲煽熄廓嗡污螺于宵林蝎途矣扳偉異Trench&PolyTrainingTrench&PolyTraining常見機臺報警及處理:壓力報警及RF反射功率報警A.發生在ByTime控制的步驟,可直接RESUME一次,并觀察圓片是否能正常作業B.發生在EPD控制的步驟,直接結束菜 內容來自淘豆網彩票怎样判断冷热号 www.ecfrr.com轉載請標明出處.